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    王友年

    • 教授     博士生导师   硕士生导师
    • 性别：男
    • 毕业院校：大连工学院
    • 学位：硕士
    • 所在单位：物理学院
    • 学科：等离子体物理
    • 办公地点：大连理工大学物理系楼306
    • 联系方式：0411-84707307
    • 电子邮箱：ynwang@dlut.edu.cn

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    双频容性耦合Ar/CF4等离子体中双频源参数对刻蚀微观不均匀性影响的研究

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    论文类型：会议论文

    发表时间：2013-08-15

    页面范围：252-252


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