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论文类型：会议论文

发表时间：2013-08-15

页面范围：277-277

摘要：　　近年来，在射频等离子体放电中引入脉冲调制技术成为新的研究热点。与连续射频放电模式相比，脉冲调制放电可以降低基板温度，改善沉积和刻蚀速率，而且电源关闭以后，电子温度下降较快，等离子体中的负离子也可以逃离主等离子体区。所以对于电负性等离子体，可以减少基板电荷积累，还可以有效抑制不必要的尘埃颗粒生长。这些特点若被有效利用将有益于材料处理。