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论文类型：会议论文

发表时间：2009-07-20

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关键字：电子温度;感应耦合;电子密度;Ar-CF_4;Langmuir;等离子体物理;能量分布;测量研究;实验研究结果;

摘要：通过Langmuir探针测量研究了射频感应耦合Ar-CF_4等离子体中电子温度(Te)、电子密度(n_e)和电子能量分布函数(EEDF)等物理量随CF_4含量的变化规律。实验研究结果表明:电子能量分布函数呈现出非Manwell分布。电子温度随着CF_4含量的增加而增加,电子密度随着CF_4含量的增加先迅速下降,后平稳下降。