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论文类型：会议论文

发表时间：2009-07-20

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关键字：放电特性;CF_4/Ar;等离子体放电;离子密度;容性耦合;射频源;离子能量;混合气体;数值模拟;混合模型;

摘要：文章通过建立一维和二维的混合模型,对CF_4/Ar混合气体的双频容性耦合等离子体放电进行了数值模拟。分析场分布,电子、离子密度分布,离子能量分布(IEDF)、角度分布(IADF),以及电子能量分布(EEDF)等随射频源和其它外界参数的变化规律,并