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论文类型：会议论文

发表时间：2009-07-20

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关键字：等离子体电子;容性耦合;二次电子;欧姆加热;粒子相互作用;模式转换;电源电压;低温等离子体;非线性耦合;鞘层;

摘要：低温等离子体的加热机制通常可以分为四种:欧姆加热,随即加热,波-粒子相互作用的共振加热和二次电子加热。不同参数的不同装置起主导作用的加热机制不同,改变外界参数(如电源电压,气压等)参数时,加热机制会发生显著的变换,从而导致等离子体的性质发生明显的改变或模式转换,不同参数的非线性耦合有可能导致回滞现