大连理工大学主页平台管理系统王友年--中文主页-- Experimental investigations of electron density and ion energy distributions in dual-frequency capacitively coupled plasmas for Ar/CF4 and Ar/O2/CF4 discharges

王友年

教授博士生导师硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连工学院
学位：硕士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：大连理工大学物理系楼306
联系方式：0411-84707307
电子邮箱：ynwang@dlut.edu.cn

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Experimental investigations of electron density and ion energy distributions in dual-frequency capacitively coupled plasmas for Ar/CF4 and Ar/O2/CF4 discharges

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论文类型：期刊论文

发表时间：2014-01-01

发表刊物：J. Appl. Phys.

卷号：115

期号：1

页面范围：13301-13301

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