大连理工大学主页平台管理系统王友年--中文主页-- Modulations of the plasma uniformity by low frequency sources in a large-area dual

王友年

访问量：

开通时间：..

最后更新时间：..

当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 论文成果

Modulations of the plasma uniformity by low frequency sources in a large-area dual

点击次数：

论文类型：期刊论文

发表时间：2015-01-01

发表刊物：Phys. Plasmas.

卷号：22

期号：5

页面范围：53508-53508

上一条：Fluid simulation of inductively coupled Ar/O2 plasmas:Comparisons with experiment

下一条：Modeling and experimental investigation of the plasma uniformity in CF4/O2