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王友年

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Equivalent circuit effects on mode transitions in H2 inductively coupled plasmas

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论文类型：期刊论文

发表时间：2015-01-01

发表刊物：Physcis of Plasmas

卷号：22

期号：4

页面范围：43508-43508

上一条：Modeling and experimental investigation of the plasma uniformity in CF4/O2

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