大连理工大学主页平台管理系统王友年--中文主页-- Experimental investigations of the plasma radial uniformity in single and dualfrequency capacitively coupled argon discharges

王友年

访问量：

开通时间：..

最后更新时间：..

当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 论文成果

Experimental investigations of the plasma radial uniformity in single and dualfrequency capacitively coupled argon discharges

点击次数：

论文类型：期刊论文

发表时间：2016-01-01

发表刊物：Phys. Plasmas

卷号：23

期号：12

页面范围：123512-123512

上一条：Influence of dielectric materials on uniformity of large-area capacitively coupled plasmas for N2/Ar discharges

下一条：Improvement of the Harmonic Technique of Probe for Measurements of Electron Temperature and Ion Density