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    王友年

    • 教授     博士生导师   硕士生导师
    • 性别:男
    • 毕业院校:大连工学院
    • 学位:硕士
    • 所在单位:物理学院
    • 学科:等离子体物理
    • 办公地点:大连理工大学物理系楼306
    • 联系方式:0411-84707307
    • 电子邮箱:ynwang@dlut.edu.cn

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    Ion Energy and Angular Distribution in Biased Inductively Coupled Ar/O2 Discharges by Using a Hybrid Model

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    论文类型:期刊论文

    发表时间:2017-01-01

    发表刊物:PLASMA PROCESSES AND POLYMERS

    卷号:14

    页面范围:1600100-