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论文类型：会议论文

发表时间：2017-07-01

发表刊物：第十八届全国等离子体科学技术会议

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关键字：容性耦合;流体模拟;电磁效应;电非对称效应;等离子体均匀性

摘要：容性耦合等离子体源的应用十分广泛,针对大面积薄膜沉积和刻蚀工艺,如何能够在较高的刻蚀或沉积速率下,获得均匀的等离子体分布,是制约微电子工业发展的关键之一。研究表明,较高的频率可以产生较高密度的等离子体,但在甚高频放电中,当电磁波的波长与腔室尺寸相当时,电磁效应(驻波效应和趋肤效应)会愈加明显,进而影响等离子体的径向均匀性。如果放电由一个基频和其偶次倍频共同驱动,通过调节二者之间的相位差,可以改变两个鞘层的对称性,即此时等离子体特性受到电磁效应和电非对称效应的共同影响。本文利用二维流体模型并耦合麦克斯韦方程组,研究了容性耦合氢等离子体放电中,不同放电条件下的电非对称效应,以及电磁效应对等离子体特性的影响。模拟结果表明,通过改变相位角的大小,可以对等离子体密度及其径向分布的均匀性进行调节,且在不同的放电条件下,调节作用有所不同。