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王友年

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Electron bounce resonance heating in dual-frequency capacitively coupled oxygen discharges

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论文类型：期刊论文

发表时间：1993-01-01

发表刊物：PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY

卷号：22

期号：2

页面范围：25012-25012

上一条：低速分子离子在固体电子气中的散射与能量损失