王友年
开通时间:..
最后更新时间:..
点击次数:
论文类型:期刊论文
发表时间:2018-01-01
发表刊物:Acta Phys. Sin.
收录刊物:PKU
卷号:67
期号:22
页面范围:225203-
上一条:Measurements of argon metastable density using the tunable diode laser absorption spectroscopy in Ar and Ar/O2
下一条:Effect of plasma uniformity on etching profiles