大连理工大学主页平台管理系统王友年--中文主页-- Measurement of electronegativity during the E to H mode transition in a radio frequency inductively coupled Ar/O2 plasma

王友年

访问量：

开通时间：..

最后更新时间：..

当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 论文成果

Measurement of electronegativity during the E to H mode transition in a radio frequency inductively coupled Ar/O2 plasma

点击次数：

论文类型：期刊论文

发表时间：2021-07-08

发表刊物：Chin. Phys. B

卷号：30

期号：3

页面范围：35202-

上一条：Spatio-temporal measurements of overshoot phenomenon in pulsed inductively coupled discharge

下一条：气压对微束射频容性放电模式调制的研究