点击次数：

论文类型：期刊论文

发表时间：2013-09-15

发表刊物：强激光与粒子束

收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

卷号：25

期号：9

页面范围：2297-2302

ISSN号：1001-4322

关键字：双频等离子体;混合模拟;离子能量分布;离子角度分布

摘要：研究了等离子体反应装置内的等离子体密度、粒子能量与角度分布等参量在装置径向与轴向上的分布特性.在研究过程中应用二维混合模型对CF4气体放电进行模拟.计算结果显示:在电极表面与侧壁附近的鞘层区特性有明显的区别.由于装置侧壁处受电源产生的射频电场的影响较小,侧壁处的鞘层主要由双极扩散机制形成,其产生的径向电场强度较弱,鞘层厚度也较薄.而在电极附近,由于受到射频电场的影响,鞘层的厚度显著增加,指向电极方向的轴向电场强度也远大于指向侧壁方向的径向电场强度.在电极区域内,离子通量分布均匀；在电极边缘与侧壁的间隙内,因电场强度减小,离子通量则发生迅速衰减.在射频电极覆盖的范围内离子能量分布大体上保持不变,电极与侧壁的交界处,由于受到侧壁处径向电场的影响,离子能量分布略有不同.在放电装置的中心区域,入射到电极上的离子角度分布基本保持一致,而在电极边界与装置侧壁的交界处,由于径向电场的影响,离子的垂直入射角增加,以大角度轰击电极的离子数量也显著增加.