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射频及脉冲偏压对感应耦合等离子体动力学行为影响的研究

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Leading Scientist:lixuechun

Supported by:国家自然科学基金项目

Sub-Class of Project:面上项目

Status:结题

Supported by:国家自然科学基金委员会

Nature of Project:纵向

Project Approval Number:11175034

Date of Project Approval:2011-09-25

Scheduled completion time:2015-12-31

Date of Project Initiation:2012-01-01

Pre One:反应性射频感应耦合等离子体中放电模式转换的研究