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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2013-04-15

Journal:真空科学与技术学报

Included Journals:Scopus、EI、PKU、ISTIC、CSCD

Volume:33

Issue:4

Page Number:331-336

ISSN No.:1672-7126

Key Words:等离子体浸没离子注入;离子成分比;充电效应

Abstract:采用一维和双离子自洽流体模型研究了等离子体浸没离子注入圆柱形聚对苯=甲酸乙=醇酯介质内表面的离子鞘层动力学.在模型中,考虑工作气体为氮气时离子成分为氮原子离子N+和分子离子N2+.计算结果表明,不同的离子成分比具有不同的鞘层演化特性,氮原子离子含量高会导致严重的充电效应.在实际工艺中,可通过调整相关参数以降低原子离子N+的成分以抑制充电效应.