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个人信息Personal Information
教授
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
联系方式：0411-84707866
电子邮箱：xcli@dlut.edu.cn
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EFFECT OF APPLIED PULSE BIAS ON SHEATH CHARACTERISTICS IN PLASMA SOURCE ION IMPLANTATION WITH DIELECTRIC SUBSTRATES
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论文类型：会议论文
发表时间：2011-01-01