Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2000-06-28

Journal: 压电与声光

Included Journals: CSCD、PKU

Volume: 22

Issue: 3

Page Number: 157-159,167

ISSN: 1004-2474

Key Words: 超磁致伸缩;微执行器;薄膜

Abstract: 超磁致伸缩薄膜是一种性能优良的新型微驱动元件,文章介绍了超磁致伸缩薄膜驱动的原理,综述了薄膜型超磁致伸缩微执行器的开发和最新研究成果,重点介绍了薄膜型超磁致伸缩微执行器在微流体控制系统、线性超声微马达及微小型行走机械中的应用,并对超磁致伸缩薄膜在微执行器中的应用进行了展望.