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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2000-06-28
Journal:压电与声光
Included Journals:PKU、CSCD
Volume:22
Issue:3
Page Number:157-159,167
ISSN No.:1004-2474
Key Words:超磁致伸缩;微执行器;薄膜
Abstract:超磁致伸缩薄膜是一种性能优良的新型微驱动元件,文章介绍了超磁致伸缩薄膜驱动的原理,综述了薄膜型超磁致伸缩微执行器的开发和最新研究成果,重点介绍了薄膜型超磁致伸缩微执行器在微流体控制系统、线性超声微马达及微小型行走机械中的应用,并对超磁致伸缩薄膜在微执行器中的应用进行了展望.
