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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2008-06-15

Journal:强激光与粒子束

Included Journals:EI、PKU、ISTIC、CSCD

Volume:20

Issue:6

Page Number:1003-1006

ISSN No.:1001-4322

Key Words:TiNbN硬质薄膜;强流脉冲离子束;膜基结合力;摩擦磨损

Abstract:利用分离靶电弧离子镀工艺在高速钢基体上制备TiNbN多元硬质薄膜,利用TEMP-6型强流脉冲离子束(HIPIB)设备,采用含C/H离子、加速电压300 kV、脉冲宽度70 ns、束流密度60 A/cm2的强流脉冲离子束对所制备的薄膜进行辐照处理,研究辐照前后膜层的摩擦磨损性能的变化.实验结果表明:HIPIB辐照以后,薄膜的表面熔化,摩擦系数降低,晶粒细化,膜层的硬度由HK3444提高到HK3820,膜基结合力由59 N提高到65 N.在测试载荷300 N和600 N条件下,薄膜的摩擦磨损性能均有较大改善.