Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2003-10-30

Journal: 半导体光电

Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU

Volume: 24

Issue: 5

Page Number: 344-349

ISSN: 1001-5868

Key Words: 光波导;Er∶Al2O3薄膜;PL特性

Abstract: 介绍了掺Er Al2O3光波导薄膜的四种典型制备方法的研究结果.比较铒的发光环境和发光特性,分析了影响光致发光强度和寿命的条件和因素.不同工艺制得的Er∶Al2O3薄膜,膜内成分、膜的晶相、掺杂浓度等对Er3+的发光特性均有影响.退火对发光特性及材料具有改善作用.