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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2003-10-30
Journal:半导体光电
Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD
Volume:24
Issue:5
Page Number:344-349
ISSN No.:1001-5868
Key Words:光波导;Er∶Al2O3薄膜;PL特性
Abstract:介绍了掺Er Al2O3光波导薄膜的四种典型制备方法的研究结果.比较铒的发光环境和发光特性,分析了影响光致发光强度和寿命的条件和因素.不同工艺制得的Er∶Al2O3薄膜,膜内成分、膜的晶相、掺杂浓度等对Er3+的发光特性均有影响.退火对发光特性及材料具有改善作用.
