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论文类型：会议论文

发表时间：2017-07-01

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关键字：MgO;阴极;脉冲放电;等离子体;放电特性

摘要：脉冲放电等离子体阴极材料是影响放电过程的一个关键因素,Mg O薄膜作为一种Na Cl晶体结构的绝缘固体材料,由于其良好的化学稳定性、高的二次发射系数和很强的抗离子轰击能力,使得Mg O薄膜在脉冲等离子放电以及电子倍增器中的应用得到快速的发展。基于此,本研究利用针-板电极形式的脉冲放电等离子体反应器,及旋涂法制备阴极Mg O薄膜,考察了大气压下阴极Mg O薄膜对脉冲等离子体的放电特性的影响,为脉冲放电等离子体的进一步应用提供参考。研究结果表明,相对于光滑不锈钢板阴极,Mg O薄膜修饰阴极放电强度明显增强。相同峰值电压下,随着Mg O薄膜厚度的增加,放电电流得到提高,同时单脉冲功率随之着得到增加;随着放电电压及Mg O薄膜厚度的增加,其增加倍数得到进一步提高。放电峰值电压为14k V,放电电流及单脉冲峰值功率分别可提高26%,48%。