Hits:

Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2008-04-15

Journal:机械工程学报

Included Journals:EI、PKU、ISTIC、CSCD

Volume:44

Issue:4

Page Number:159-164,170

ISSN No.:0577-6686

Key Words:微动工作台;压电执行器;自感知;积分器;复合控制

Abstract:使用自感知方法测量压电微动工作台的位移,省去独立传感器,构成位移自感知控制系统.压电陶瓷执行器晶片上的自由电荷中包含执行器的位移信息,据此提出基于积分器的压电执行器位移自感知方法,并设计了获取执行器晶片上自由电荷的积分器电路.该方法使得自感知电路的调节和感知信号的获取变得容易,可克服电桥法自感知电路阻抗不易匹配的不足.将该位移自感知方法作为压电微动工作台控制系统的反馈方式,并为提高工作台的动静态性能,构造一种前馈补偿同反馈调节相结合的复合控制算法,实现了自感知复合控制.试验验证了自感知复合控制的有效性,并将该控制方法同其他控制方法--前馈控制、独立传感器常规PID反馈控制、独立传感器复合控制进行了对比试验研究,结果表明自感知复合控制具有独立传感器复合控制的良好性能.