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压电陶瓷执行器迟滞与非线性成因分析

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2003-06-25

Journal:光学精密工程

Included Journals:ISTIC、CSCD

Volume:11

Issue:3

Page Number:270-275

ISSN No.:1004-924X

Key Words:执行器;压电陶瓷;迟滞;非线性

Abstract:从微观上系统分析了电致伸缩效应、逆压电效应和铁电效应的位移机理,表明:三种效应的位移机理是根本不同的;压电陶瓷执行器的位移主要是由逆压电效应、铁电效应所引起的,电致伸缩效应对位移的贡献极其微弱,可以忽略不计;单纯的逆压电效应是线性的,而铁电效应则是迟滞非线性的.指出了非180°电畴转向与转向的不完全可逆,分别是造成压电陶瓷执行器非线性和迟滞的根本原因.通过实验研究了驱动电压幅值、驱动电压频率、驱动循环次数及晶片厚度对压电陶瓷执行器迟滞和非线性的影响.

Pre One:改进的溶胶-凝胶法制备不同厚度的PZT薄膜

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