Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2003-01-30

Journal: 中国机械工程

Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU

Volume: 14

Issue: 2

Page Number: 164-168

ISSN: 1004-132X

Key Words: 执行器;压电陶瓷;纳米定位;控制方法

Abstract: 压电陶瓷执行器在较高电场的作用下将产生严重的非线性、迟滞和蠕变,从而大大降低了它的定位精度.从控制方式、驱动方式和控制算法上,分析、总结了国内外关于纳米定位中压电陶瓷执行器的各种控制方法,进而提出:压电陶瓷执行器在静态或对频响要求不高的场合下,应采用电压驱动、电容传感器反馈并同优良控制算法相结合的控制方法;而在对频响要求较高的场合下,应采用电荷驱动、电容传感器反馈并同优良控制算法相结合的控制方法.