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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：凝聚态物理. 微电子学与固体电子学
办公地点：物理学院431
联系方式：15904250968
电子邮箱：dbd01@dlut.edu.cn
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热丝化学气相沉积（HWCVD）中热丝直径对非晶硅薄膜沉积的影响
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论文类型：期刊论文
发表时间：2011-01-01
发表刊物：中国科技论文在线
收录刊物：PKU
卷号：11
期号：3
页面范围：1-5