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微加热式微气压传感器测试电路的设计与分析

Release Time:2019-10-09  Hits:

Indexed by: Conference Paper

Date of Publication: 2005-08-13

Volume: Vol.16

Page Number: 281-284

Key Words: 微加热式;微气压传感器;恒温;测试电路;加热电阻

Abstract:   本文根据已研制的微加热式微气压传感器的加热电阻,设计了恒温、恒功率、恒压电桥三种测试电路,并对它们作了深入的分析对比.通过对微加热式微气压传感器的初步测试,发现传感器在恒温工作模式下有较高的灵敏度.

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