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微加热式微气压传感器测试电路的设计与分析

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Indexed by:会议论文

Date of Publication:2005-08-13

Volume:Vol.16

Page Number:281-284

Key Words:微加热式;微气压传感器;恒温;测试电路;加热电阻

Abstract:  本文根据已研制的微加热式微气压传感器的加热电阻,设计了恒温、恒功率、恒压电桥三种测试电路,并对它们作了深入的分析对比.通过对微加热式微气压传感器的初步测试,发现传感器在恒温工作模式下有较高的灵敏度.

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