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Indexed by: Conference Paper

Date of Publication: 2013-08-15

Page Number: 274-274

Key Words: 辉光放电;材料表面改性;电不稳定;放电模式;脉冲调制;生产效率;电子密度;电子温度;放电特性;数值模拟;

Abstract: 由于具有低成本、高生产效率等优点,大气压射频辉光放电(radio frequencyatmospheric pressure glow discharge)己在大规模集成电路、材料表面改性及生物杀菌等领域得到广泛应用。然而,射频辉光放电过高的频率会导致放电不稳定,容易发生放电模式的转换:由均匀的辉光放电变成高温的弧光放电,不利于处理对温度敏感的