Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Conference Paper

Date of Publication: 2001-08-01

Volume: Vol.22

Page Number: 2

Key Words: TiNi;形状记忆薄膜;光刻;Pt薄膜;MEMS

Abstract: TiNi形状记忆薄膜光刻工艺是此类MEMS器件制作的关键技术之一。研究了剥离工艺(lift-off)用于TiNi薄膜图形化的可行性,并首次利用溅射的金属Pt作掩膜进行TiNi薄膜湿法腐蚀。结果表明:溅射的Pt在HF/HNO_3/H_2O腐蚀TiNi过程中,具有抗腐蚀力强、与TiNi结合致密、不漂起的特点,是TiNi薄膜长时间腐蚀的理想掩膜材料。