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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2000-10-30
Journal:仪器仪表标准化与计量
Issue:05
Page Number:19-22
ISSN No.:11-2860/TK
Key Words:微机械技术;机械元件;微电子机械系统;批量生产;精密定位;虚拟现实;热电堆;办公自动化;显示芯片;体硅;
Abstract:微机械元件和微机械仪器,适于大批量生产,具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点。近十年来,在研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展,展现了美好的前景。