Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2000-10-30

Journal: 仪器仪表标准化与计量

Issue: 05

Page Number: 19-22

ISSN: 11-2860/TK

Key Words: 微机械技术;机械元件;微电子机械系统;批量生产;精密定位;虚拟现实;热电堆;办公自动化;显示芯片;体硅;

Abstract: 微机械元件和微机械仪器，适于大批量生产，具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点。近十年来，在研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展，展现了美好的前景。