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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2000-09-30
Journal:大连理工大学学报
Included Journals:PKU、CSCD
Volume:40
Issue:5
Page Number:505-508
ISSN No.:1000-8608
Key Words:传感器/微机电系统;微制造技术
Abstract:阐明了微机电系统(MEMS)的学科内涵与应用范畴.着重介绍了国外MEMS的研究情况.研究表明微尺度下一些物理现象与宏观世界的存在差别;论述了LIGA加工、刻蚀技术等微制造技术.总结了国内的研究工作,给出了我国在基础理论、材料、工艺、元器件、测试及微系统等方面的研究情况,并提出发展我国微机电系统的几点建议.
