Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2000-09-30

Journal: 大连理工大学学报

Included Journals: CSCD、PKU

Volume: 40

Issue: 5

Page Number: 505-508

ISSN: 1000-8608

Key Words: 传感器/微机电系统;微制造技术

Abstract: 阐明了微机电系统(MEMS)的学科内涵与应用范畴.着重介绍了国外MEMS的研究情况.研究表明微尺度下一些物理现象与宏观世界的存在差别;论述了LIGA加工、刻蚀技术等微制造技术.总结了国内的研究工作,给出了我国在基础理论、材料、工艺、元器件、测试及微系统等方面的研究情况,并提出发展我国微机电系统的几点建议.