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串联臂压电微电机驱动机理的研究

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2002-03-30

Journal:中国机械工程

Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD

Volume:13

Issue:6

Page Number:524-525

ISSN No.:1004-132X

Key Words:压电微电机;串联弯曲臂;工作原理;结构

Abstract:二级串联压电双晶片(串联臂)一端固定时,在特定的电信号控制下,自由端将沿椭圆轨迹运动.以串联臂为驱动元件,可用来驱动端面与其相接触的转子转动,构成串联臂压电微电机.研究了串联弯曲臂压电微电机的工作原理,设想了串联臂压电微电机的结构.

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