Current position: Home >> Scientific Research >> Paper Publications

串联臂压电微电机驱动机理的研究

Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2002-03-30

Journal: 中国机械工程

Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU

Volume: 13

Issue: 6

Page Number: 524-525

ISSN: 1004-132X

Key Words: 压电微电机;串联弯曲臂;工作原理;结构

Abstract: 二级串联压电双晶片(串联臂)一端固定时,在特定的电信号控制下,自由端将沿椭圆轨迹运动.以串联臂为驱动元件,可用来驱动端面与其相接触的转子转动,构成串联臂压电微电机.研究了串联弯曲臂压电微电机的工作原理,设想了串联臂压电微电机的结构.

Prev One:一种新的压电驱动器非线性数学模型

Next One:硅光棚的制作与应用