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Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2002-02-25

Journal: 微纳电子技术

Volume: 39

Issue: 2

Page Number: 29-33

ISSN: 1671-4776

Key Words: 硅;光栅;微加工技术

Abstract: 硅是一种良好的近红外材料.硅光栅的发展迄今已有20多年历史,在制作方法和应用上都有了较大的发展.硅光栅的微加工工艺可以分为体硅工艺和面硅工艺,这些微加工方法在技术上与微电子及微机械工艺可以兼容.本文介绍了硅光栅的制作及其在不同领域的应用.