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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2002-02-25
Journal:微纳电子技术
Volume:39
Issue:2
Page Number:29-33
ISSN No.:1671-4776
Key Words:硅;光栅;微加工技术
Abstract:硅是一种良好的近红外材料.硅光栅的发展迄今已有20多年历史,在制作方法和应用上都有了较大的发展.硅光栅的微加工工艺可以分为体硅工艺和面硅工艺,这些微加工方法在技术上与微电子及微机械工艺可以兼容.本文介绍了硅光栅的制作及其在不同领域的应用.
