Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2002-01-01

Journal: 中国机械工程

Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU

Volume: 13

Issue: 1

Page Number: 29-32

ISSN: 1004-132X

Key Words: 形状记忆合金; 薄膜; 微型机电系统; 冷轧; 溅射; 原子力显微镜

Abstract: 形态记忆合金薄膜以其功密度高、输出力和位移大成为微型机电系统领域最有潜力的微驱动材料之一。研究了丝材冷轧和溅射薄膜工艺，获得了理想的TiNi薄膜
   ，对于溅射工艺，给出了增加溅射薄膜中Ti含量的一种新途径，并应用原子力显微镜对薄膜进行了微观形貌分析。