Hits:
Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2002-01-01
Journal:中国机械工程
Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD
Volume:13
Issue:1
Page Number:29-32
ISSN No.:1004-132X
Key Words:形状记忆合金; 薄膜; 微型机电系统; 冷轧; 溅射; 原子力显微镜
Abstract:形态记忆合金薄膜以其功密度高、输出力和位移大成为微型机电系统领域最有潜力的微驱动材料之一。研究了丝材冷轧和溅射薄膜工艺，获得了理想的TiNi薄膜
，对于溅射工艺，给出了增加溅射薄膜中Ti含量的一种新途径，并应用原子力显微镜对薄膜进行了微观形貌分析。
