Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2003-01-25

Journal: 仪表技术与传感器

Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU

Volume: 0

Issue: 1

Page Number: 1-3

ISSN: 1002-1841

Key Words: 微机电系统;微型化;集成化

Abstract: 微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems)是80年代发展起来的新兴交叉学科,其系统包括能源、微驱动器、微执行器、微传感器、微控制器以及与外界的接口等.由于该系统能够实现各类产品的微型化、集成化与便携化,因而在天上、地面和海洋的诸多领域有广泛的应用与产业前景.本文概括地介绍微机电系统学科的重大意义,13年来中国MEMS研发的总体概况,以及关注的热点.