反应等离子体中尘埃空洞形成的实验研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2005-10-12
发表刊物：物理学报
收录刊物：Scopus、CSCD、ISTIC、PKU、SCIE
卷号：54
期号：10
页面范围：4794-4798
ISSN号：1000-3290
关键字：尘埃等离子体;尘埃空洞;尘埃云
摘要：利用气体合成(乙烯和硅烷,氩气是载气)的方法,产生尘埃粒子,并在此基础上研究了悬浮在射频等离子体鞘层上方的尘埃云及尘埃空洞.实验结果给出了尘埃云和尘埃空洞与射频功率和气压等参数的关系曲线.