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论文类型：期刊论文

发表时间：2012-09-25

发表刊物：真空

收录刊物：ISTIC

卷号：49

期号：5

页面范围：57-61

ISSN号：1002-0322

关键字：射频等离子体;尘埃空洞;尘埃云;尘埃颗粒;周期振荡;旋转

摘要：本文利用实验过程中直接产生尘埃粒子的方法,实验气体是乙烯和硅烷,氩气是载气.在射频等离子体鞘层内形成尘埃云及尘埃空洞.通过观察尘埃云体积的变化及尘埃空洞随时间的周期振荡现象,分析尘埃空洞的基本性质,通过记录尘埃颗粒随时间的运动轨迹,初步推断出尘埃颗粒的受力情况,结合尘埃颗粒和尘埃空洞的运动规律,得出射频等离子体中尘埃空洞的特性及形成原因.