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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：男
毕业院校：中科院北京物理研究所
学位：博士
所在单位：物理学院
电子邮箱：zhangpy@dlut.edu.cn
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脉冲调制磁化容性耦合放电中Ar+光谱特性研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2012-03-25
发表刊物：真空
收录刊物：ISTIC
卷号：49
期号：2
页面范围：86-91
ISSN号：1002-0322
关键字：光学发射谱线诊断;脉冲调制;磁场强度;谱线相对强度;电子激发温度
摘要：本文在平行平板脉冲调制容性耦合射频放电装置中,采用光学发射谱线诊断的方法,研究了低气压(30 Pa～65 Pa)不同磁场强度条件下氩气(Ar)放电时产生等离子体过程中电子激发温度以及Ar离子的光谱线相对强度随气压、射频功率、调制频率、占空比和磁场强度大小的变化规律.