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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2005-05-15
Journal:润滑与密封
Included Journals:Scopus、EI、PKU、ISTIC
Issue:3
Page Number:1-4,8
ISSN No.:0254-0150
Key Words:化学机械抛光;固结磨料;抛光垫;抛光机;抛光液
Abstract:经过对传统化学机械抛光技术的研究与分析,指出了目前ULSI制造中使用的传统化学机械抛光技术的缺点,通过对固结磨料化学机械抛光中的抛光垫结构、抛光机原理及抛光液的分析,得出了固结磨料化学机械抛光技术的优点,同时还对硅片固结磨料化学机械抛光的缺陷进行了研究.
