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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2005-02-25
Journal:制造业自动化
Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD
Volume:27
Issue:2
Page Number:35-37
ISSN No.:1009-0134
Key Words:硅片传输机器人;机构;运动学分析
Abstract:结合径向直线运动型硅片传输机器人的设计,分别介绍了该机器人的升降旋转部件、径向伸缩部件、末端翻转部件的机构以及工作原理,并且对径向伸缩部件的直线运动机构进行了运动学分析.
