Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2010-01-01
Journal:中国机械工程
Included Journals:Scopus、PKU、ISTIC、CSCD
Volume:21
Issue:7
Page Number:839
ISSN No.:1004-132X
Key Words:化学机械抛光; 低下压力; 弹性组合元件; 加压元件
Abstract:low-k材料的使用,使低下压力技术成为化学机械抛光(CMP)设备研发设计必须面临的关键技术之一,为适应该需求,提出了弹性组合元件加压技术,即通
过改变加压元件的变形量来实现压力调整的机械调压技术.对该加压模式的设计要求及加压精度进行了理论分析,并进行了加压精度及压力一变形线性关系的实验验
证.实验所得的加压精度与理论分析结果比较接近,加压装置的压力与变形之间基本呈线性关系.加压元件可以实现压力从零开始的低下压力、高精度压力调整.
Professor
Supervisor of Doctorate Candidates
Supervisor of Master's Candidates
Title : 国际磨粒技术学会（International Committee of Abrasive Technology, ICAT）委员，中国机械工程学会极端制造分会副主任、生产工程分会常务委员、微纳米制造技术分会常务委员，中国机械工程学会生产工程分会磨粒加工技术专业委员会副主任、切削加工专业委员会常委委员、精密工程与微纳技术专业委员会常委委员，中国机械工程学会特种加工分会超声加工技术委员会副主任，中国机械工程学会摩擦学分会微纳制造摩擦学专业委员会常务委员，中国机械工业金属切削刀具协会切削先进制造技术研究会常务理事、对外学术交流工作委员会副主任、切削先进制造技术研究会自动化加工技术与系统委员会副主任。
Gender:Male
Alma Mater:西北工业大学
Degree:Doctoral Degree
School/Department:机械工程学院
Discipline:Mechanical Manufacture and Automation. Mechatronic Engineering. Manufacturing Engineering of Aerospace Vehicle
Business Address:机械工程学院7191
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