Indexed by:Journal Papers
Date of Publication:2019-05-15
Journal:光学精密工程
Included Journals:PKU
Volume:27
Issue:5
Page Number:1087-1095
ISSN No.:1004-924X
Key Words:单晶硅反射镜;工件旋转法磨削;表面/亚表面损伤;面形控制;超细粒度金刚石砂轮
Abstract:为了实现单晶硅反射镜高效低损伤的超精密加工,研究了基于工件旋转法磨削原理的单晶硅反射镜超精密磨削工艺.通过形貌检测和成份测试的方法分析了该工艺采用的超细粒度金刚石砂轮的组织结构特征,并对单晶硅进行了超精密磨削试验,研究了超细粒度金刚石砂轮的磨削性能.通过砂轮主轴角度与工件面形之间的数学关系实现对磨削工件面形的控制.最后,采用超细粒度金刚石砂轮对 Φ100 mm×5 mm的单晶硅反射镜进行了超精密磨削试验验证.试验结果表明,超细粒度金刚石砂轮磨削后的单晶硅表面粗糙度Ra值小于10 nm,亚表面损伤深度小于100 nm,磨削后的单晶硅反射镜面形PV值从初始的8.1μm减小到1.5μm.由此说明采用该工艺磨削单晶硅反射镜能够高效地获得低损伤表面和高精度面形.
Professor
Supervisor of Doctorate Candidates
Supervisor of Master's Candidates
Title : 国际磨粒技术学会（International Committee of Abrasive Technology, ICAT）委员，中国机械工程学会极端制造分会副主任、生产工程分会常务委员、微纳米制造技术分会常务委员，中国机械工程学会生产工程分会磨粒加工技术专业委员会副主任、切削加工专业委员会常委委员、精密工程与微纳技术专业委员会常委委员，中国机械工程学会特种加工分会超声加工技术委员会副主任，中国机械工程学会摩擦学分会微纳制造摩擦学专业委员会常务委员，中国机械工业金属切削刀具协会切削先进制造技术研究会常务理事、对外学术交流工作委员会副主任、切削先进制造技术研究会自动化加工技术与系统委员会副主任。
Gender:Male
Alma Mater:西北工业大学
Degree:Doctoral Degree
School/Department:机械工程学院
Discipline:Mechanical Manufacture and Automation. Mechatronic Engineering. Manufacturing Engineering of Aerospace Vehicle
Business Address:机械工程学院7191
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