Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2011-05-05
Journal:机械工程学报
Included Journals:EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus
Volume:47
Issue:9
Page Number:169-174
ISSN No.:0577-6686
Key Words:化学机械抛光 粗糙表面 微尺度流动 抛光液
Abstract:由于特征线宽的进一步细微化,超大规模集成电路的进一步发展受到平坦化技术发展水平的制约.抛光液流动性能是影响平坦化加工性能和效率的重要因素之一,为增强抛光液的流动性,在抛光垫表面增加沟槽是有效的技术手段.以带沟槽抛光垫多级粗糙表面的抛光液微流动为研究对象,采用多级粗糙表面计算机模拟生成技术和计算流体动力学新方法格子Boltzmann方法,对抛光液在多级粗糙间隙内的流动过程进行分析.初步研究抛光垫多级粗糙表面的抛光液微流动特性,并且分析抛光垫表面形貌特征对抛光液流动的影响.结果表明,所提出的抛光液微流动研究方法可以用来分析抛光垫几何参数对抛光液输送过程的影响,并且具有很好的统计特性,这为抛光垫的修整和新一代抛光垫的设计制造提供了一种理论研究方法.
Professor
Supervisor of Doctorate Candidates
Supervisor of Master's Candidates
Title : 国际磨粒技术学会（International Committee of Abrasive Technology, ICAT）委员，中国机械工程学会极端制造分会副主任、生产工程分会常务委员、微纳米制造技术分会常务委员，中国机械工程学会生产工程分会磨粒加工技术专业委员会副主任、切削加工专业委员会常委委员、精密工程与微纳技术专业委员会常委委员，中国机械工程学会特种加工分会超声加工技术委员会副主任，中国机械工程学会摩擦学分会微纳制造摩擦学专业委员会常务委员，中国机械工业金属切削刀具协会切削先进制造技术研究会常务理事、对外学术交流工作委员会副主任、切削先进制造技术研究会自动化加工技术与系统委员会副主任。
Gender:Male
Alma Mater:西北工业大学
Degree:Doctoral Degree
School/Department:机械工程学院
Discipline:Mechanical Manufacture and Automation. Mechatronic Engineering. Manufacturing Engineering of Aerospace Vehicle
Business Address:机械工程学院7191
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