Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2015-04-20
Journal:金刚石与磨料磨具工程
Included Journals:Scopus、ISTIC
Volume:35
Issue:2
Page Number:26-32
ISSN No.:1006-852X
Key Words:单晶硅;缓进给沟槽磨削;金刚石砂轮;崩边
Abstract:分别选用2 mm 宽的树脂结合剂和金属结合剂金刚石砂轮，以缓进给磨削方式在单晶硅上进行开槽实验，研究砂轮类型、砂轮线速度、工作台进给速度等参数对沟槽加工质量的影响，同时探讨了表面陪片对提高磨削质量的作用。实验结果及分析表明：沟槽磨削质量与磨削参数和砂轮类型有关，与金属结合剂砂轮相比，使用树脂结合剂砂轮进行沟槽加工，单晶硅试样崩边尺寸较小，沟槽侧壁的表面质量较高；表面粘贴陪片后进行沟槽磨削可以显著降低沟槽两侧的崩边，提高磨削精度和效率。
Professor
Supervisor of Doctorate Candidates
Supervisor of Master's Candidates
Title : 国际磨粒技术学会（International Committee of Abrasive Technology, ICAT）委员，中国机械工程学会极端制造分会副主任、生产工程分会常务委员、微纳米制造技术分会常务委员，中国机械工程学会生产工程分会磨粒加工技术专业委员会副主任、切削加工专业委员会常委委员、精密工程与微纳技术专业委员会常委委员，中国机械工程学会特种加工分会超声加工技术委员会副主任，中国机械工程学会摩擦学分会微纳制造摩擦学专业委员会常务委员，中国机械工业金属切削刀具协会切削先进制造技术研究会常务理事、对外学术交流工作委员会副主任、切削先进制造技术研究会自动化加工技术与系统委员会副主任。
Gender:Male
Alma Mater:西北工业大学
Degree:Doctoral Degree
School/Department:机械工程学院
Discipline:Mechanical Manufacture and Automation. Mechatronic Engineering. Manufacturing Engineering of Aerospace Vehicle
Business Address:机械工程学院7191
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