大连理工大学主页平台管理系统郭晓光 A study of the effect of optical parameters on the performance of diamond photo-assisted chemical mechanical polishing - Based on ReaxFF MD molecular dynamics simulations 中文主页

基本信息

教授

博士生导师硕士生导师
学位：博士
性别：女
毕业院校：大连理工大学
所在单位：机械工程学院
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发布时间：2025-10-27 点击次数：

论文类型：期刊论文
论文编号：586326
发表刊物：DIAMOND AND RELATED MATERIALS
卷号：159
ISSN号：0925-9635
关键字：PLANARIZATION; SURFACE