大连理工大学主页平台管理系统郭晓光 A study of the effect of optical parameters on the performance of diamond photo-assisted chemical mechanical polishing - Based on ReaxFF MD molecular dynamics simulations 中文主页

基本信息

MORE +

郭晓光Maggie Guo

教授

博士生导师硕士生导师
学位：博士
性别：女
毕业院校：大连理工大学
所在单位：机械工程学院
Email :

同专业博导

同专业硕导

个人学术主页

论文成果

当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 论文成果

A study of the effect of optical parameters on the performance of diamond photo-assisted chemical mechanical polishing - Based on ReaxFF MD molecular dynamics simulations

发布时间：2025-10-27 点击次数：

发表刊物：Diamond & Related Materials
期号：PB
页面范围：112858-112858
ISSN号：0925-9635
关键字：CMP; Diamond; MRR; ReaxFF MD; RMS; UV light intensity

下一条：Insights into the surface oxidation modification mechanism of nano-diamond: An atomistic understanding from ReaxFF simulations