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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：男
毕业院校：吉林工业大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 机械电子工程. 测试计量技术及仪器
办公地点：机械工程学院知方楼6025
联系方式：rcjin@dlut.edu.cn
电子邮箱：rcjin@dlut.edu.cn
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微加热板式半导体微气压传感器的测试
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论文类型：期刊论文
发表时间：2004-08-20
发表刊物：传感器技术
收录刊物：PKU、CSCD
卷号：23
期号：8
页面范围：55-57
ISSN号：1000-9787
关键字：微加热板式半导体传感器;微气压;测试
摘要：组建了一套用于半导体微气压传感器的测试系统.该系统主要由真空装置和信号采集系统两部分组成.该系统为半导体微气压传感器的研制提供了实验平台,利用该系统对一种微加热板式传感器的微气压特性进行了实验测试及分析.