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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：男
毕业院校：吉林工业大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 机械电子工程. 测试计量技术及仪器
办公地点：机械工程学院知方楼6025
联系方式：rcjin@dlut.edu.cn
电子邮箱：rcjin@dlut.edu.cn
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集成温度传感器AD590在气压测量中的应用
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论文类型：会议论文
发表时间：2004-07-01
卷号：Vol.23
页面范围：3
关键字：集成温度传感器;AD590;PN结;单片集成
摘要：本文研究了集成温度传感器AD590在气压测量中的应用。利用真空测试系统,用AD590作为敏感元件和信号的转换元件,对1-100kpa范围内的气压进行了测试。测试结果表明,AD590对该范围内的气压有良好的线性响应,敏感元件本身为集成电路工艺,不需进行微机械加工,即能实现系统的单片集成。