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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2008-02-15

Journal:压电与声光

Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD

Volume:30

Issue:1

Page Number:22-25

ISSN No.:1004-2474

Key Words:微电源;压电悬臂梁;压电发电;微机电系统(MEMS)

Abstract:微加工技术极大地促进了各类传感器系统的微型化、集成化,使微机电系统(MEMS)功能越来越强,功耗、体积越来越小,而微能源部分却日益成为MEMS微型化设计的瓶颈.该文系统介绍了一种在MEMS应用中有极具发展潜力的能源供应方式--压电微能源.压电微能源可通过收集环境能量来发电,具有长寿命、高能量密度、与MEMS工艺兼容等优点,在微系统中具有广泛的应用前景.