Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2011-01-15

Journal: 纳米技术与精密工程

Included Journals: CSCD、ISTIC、EI、Scopus

Volume: 09

Issue: 1

Page Number: 1-5

ISSN: 1672-6030

Key Words: 微电源;压电悬臂梁;MEMS;PZT

Abstract: 研制长寿稳定电源已经成为微型无线传感网络中亟待解决的关键技术问题,现有的化学电池容量有限,需要不断地逐个更换耗尽的电池,难以满足无线传感网络的实际应用.提出了利用压电材料的机电耦合特性收集环境振动能,设计了一种用来收集环境振动能的压电微悬臂梁结构,介绍了用MEMS工艺制作带质量块的硅基压电悬臂梁微电源的工艺流程.质量块可以降低器件的谐振频率,并提高输出电功率.最后,对制作的微压电悬臂梁进行了固有频率测试以及静态和准静态标定实验.