一种制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺
Release Time:2019-03-10 Hits:
Indexed by: Journal Papers
Date of Publication: 2008-04-25
Journal: 功能材料与器件学报
Included Journals: ISTIC、PKU
Volume: 14
Issue: 2
Page Number: 349-352
ISSN: 1007-4252
Key Words: 同位素微电池;SU8胶;剥离工艺;表面电极
Abstract: 开发了一种利用SU8胶剥离工艺制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺,通过使用BP212正胶作为牺牲层,有效地解决了在制作沟槽型同位素微电池表面电极时,堆胶以及沟槽中SU8胶不易去除的难题.该工艺操作简单、可靠,成本低,因此具有很大的实用价值.