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Indexed by:Journal Papers
Date of Publication:2008-04-25
Journal:功能材料与器件学报
Included Journals:PKU、ISTIC
Volume:14
Issue:2
Page Number:349-352
ISSN No.:1007-4252
Key Words:同位素微电池;SU8胶;剥离工艺;表面电极
Abstract:开发了一种利用SU8胶剥离工艺制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺,通过使用BP212正胶作为牺牲层,有效地解决了在制作沟槽型同位素微电池表面电极时,堆胶以及沟槽中SU8胶不易去除的难题.该工艺操作简单、可靠,成本低,因此具有很大的实用价值.
